Mass Flow Meter (MFM);
PN100 (Pressure rating 100bar)
|
Ranges |
Series F-110C |
min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,06 ... 9 mln/min
|
Series F-111B |
min. 0,16 ... 8 mln/min
max. 0,16 ... 25 ln/min
|
Series F-111AC |
min. 0,4 ... 20 ln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min
|
Series F-112AC |
min. 0,8 ... 40 ln/min
max. 1,4 ... 250 ln/min
|
Series F-113AC |
min. 4 ... 200 ln/min
max. 8 ... 1670 ln/min
|
Mass Flow Controller (MFC);
PN64 / PN100
|
Ranges |
Series F-200CV / F-210CV 1) |
min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,06 ... 9 mln/min
|
Series F-201CV / F-211CV 1) |
min. 0,16 ... 8 mln/min
max. 0,16 ... 25 ln/min
|
Series F-201AV / F-211AV 1) |
min. 0,4 ... 20 ln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min
|
Series F-202AV / F-212AV 2) |
min. 0,8 ... 40 ln/min
max. 1,4 ... 250 ln/min
|
Series F-203AV / F-213AV 2) |
min. 4 ... 200 ln/min
max. 8 ... 1670 ln/min
|